小径晶圆用_3轴圆柱坐标型晶圆搬运机械手臂

小径晶圆用_3轴圆柱坐标型晶圆搬运机械手臂


小径晶圆用3轴圆柱坐标型洁净机械手臂特点： 
**洁净无尘间用2轴圆柱坐标型晶圆搬运机械手臂SSCR3090S系列
适用于半导体生产设备内部，检测设备等小尺寸晶圆的搬运，通过优化机械手臂的空间尺寸，
有利于实现设备的小型化
机械手臂标准臂长：90mm
同SSCR2090S-PM兼容，连杆式手臂，可以定制没有Z轴模块的机械手臂
全轴使用2相步进电机
晶圆固定方式：真空吸附式，下托式
手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供手指


小径晶圆用3轴圆柱坐标型洁净机械手臂基本参数：
使用环境                        洁净间内的大气环境
手臂                              单臂
到达距离                        175mm (手臂*3关节中心到达距离)
升降轴MAX行程              150mm
可搬运质量                     0.1kg (只包含被搬运物体)(手臂*3关节处基准)


了解更多/wafer_transfer_robot/index2.htm


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