4轴圆柱坐标洁净_防水式搬运机械手 4轴圆柱坐标洁净_防水式搬运机械手特点: 防水4轴圆柱坐标型机械手STWCR4000系列(配备300 mm晶圆翻转机构+边缘夹持机构) 能够在酸性,碱性雾气环境下搬运半导体晶圆 机械手臂标准臂长:160 mm、200 mm 手臂部分采用特氟龙镀层保证耐腐蚀性 手臂关节部位防水结构使用V型密封圈 零件之间的结合面采用Viton材质的密封条 Z轴的防水结构可以使用蛇腹管 双臂结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间 配备动作监视器 控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式 全轴采用2相步进电机 S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运半导体晶圆 晶圆固定方式: 真空吸附式,下托式,边缘夹持式 可以针对搬运物体,客户设备布局的实际情况提供较优的手指 防水4轴圆柱坐标洁净机械手臂基本参数: 使用环境 洁净间内的大气环境 手臂 双臂 到达距离 315mm (手臂*3关节中心到达距离) 升降轴较大行程 300mm 可搬运质量 3kg (手臂*3关节处基准) 了解更多/wafer_transfer_robot/ 4轴圆柱坐标洁净_防水式搬运机械手相关产品: 衡鹏供应 真空3轴圆柱坐标洁净机械 5轴水平多关节型晶圆搬运机械手