静止型回流炉设备RDT-250EC_独立式高性能回流炉

静止型回流炉设备RDT-250EC_独立式高性能回流炉




MALCOM静止型回流炉设备RDT-250EC规格：
项目	                                        规格
対象基板尺寸	                 250W×330L㎜以下
	                                 高さ 保持面上下共15mm以下
装置尺寸	                                 773W×863D×1417H mm
加热方式	                                上面 ：热风、远红外线辐射并用
	                                下面：远红外线辐射(选项)
冷却方式	                                外部气体（氮气或空气）通过导入（排气口连动）
	                                附带冷却用流量调整阀门
电源	                                3相 200V 50/60Hz 10kVA
外部气体	                                0.3～0.5MPa 100L/min（MAX） 
炉内氧浓度 （氮气使用时）	MIN 100ppm
基板托盘	
上面加热	                                热风、远红外线加热器：7.2kW(约240W×30格)
	                                ※可对基准模组进行偏差设定
下面加热(选项)	
温度精度	                                常温～80℃ ：±3℃
	                                80℃～400℃：±2℃
测定温度	                                常温～400℃
测**数	                                6点
窒素供给机能	                流量调整阀门：100l/min
制御用専用ソフト	                対応OS：Windows 8.1/10
装置重量	                                约140㎏



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